Lehrstuhl Mikrosystemtechnik ( Mikrotechnik, Mechatronik )

<BODY BGCOLOR="#F0F5F5"> <H2>Mikrosystemtechnik Mikrotechnik Laser Lasertechnik Mikro-Sandstrahlen (Micro-Blasting) Sandstrahlen Fotolithographie Terfenol Terfenolanwendungen Magnetostriktion magnetostriktive Materialien amorphe Metalle Sputtern Feinwerktechnik Feinmechanik Lithographie </H2> <H3>Materialforschung Piezoelektrizität piezoelektrische Materialien, Material für Sensoren / Aktoren Aktuator Mikroaktuator, Aktuatoren, Mikroantrieb, Mikrozerspanung, Strukturierung, Mikrostrukturierung, Präzisionsmechanik</H3></BODY>