Plasma-Diagnostik zur in situ Messung konventioneller Plasmen und hoch metallionenhaltiger HIPIMS-Plasmen zum Ionenätzen und für die Abscheidung von Dünnschichten

 
 

 

 

 

Ansprechpartner:
Dr. Ruslan Mykhaylonka

Telefon:     0355 69-4251

E-Mail:        mykharus[at]tu-cottbus.de